GB/T 17874-1999 电子工业用气体三氯化硼

2010/7/1 9:24:00 来源：网友

本标准规定了电子工业用三抓化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。
本标准适用于以粗制三抓化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三抓化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注人、干法蚀刻等工艺。